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portada Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications
Formato
Libro Físico
Editorial
Idioma
Inglés
N° páginas
288
Encuadernación
Tapa Dura
Dimensiones
23.4 x 15.6 x 1.9 cm
Peso
0.61 kg.
ISBN13
9783030232986

Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications

Lars Rebohle (Autor) · Slawomir Prucnal (Autor) · Denise Reichel (Autor) · Springer · Tapa Dura

Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications - Rebohle, Lars ; Prucnal, Slawomir ; Reichel, Denise

Sin Stock

Reseña del libro "Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications"

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed in detail and allow the reader to properly plan and perform their own thermal processing. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey. Several case studies of simulated temperature profiles in real material systems give the reader the necessary insight into the underlying physics and simulations. This book is a valuable reference work for both novice and advanced users.

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El libro está escrito en Inglés.
La encuadernación de esta edición es Tapa Dura.

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