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Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés)
Wei Gao (Autor)
·
Elsevier
· Tapa Blanda
Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés) - Wei Gao
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Reseña del libro "Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés)"
Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication presents state-of-the-art measurement technologies for surface metrology in fabrication of micro- and nanodevices or components. This includes the newest general-purpose scanning probe microscopes, and both contact and non-contact surface profilers. In addition, the book outlines characterization and calibration techniques, as well as in-situ, on-machine, and in-process measurements for micro- and nanofabrication.Provides materials scientists and engineers with an informed overview of the state-of-the-art in surface metrology Helps readers select and design the optimized surface metrology systems and carry out proper surface metrology practices in the fabrication of micro/nano-devices and componentsAssesses the best techniques for repairing micro-defects
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El libro está escrito en Inglés.
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